如何避免二氧化硅层表面的缺陷

2021-06-04 11:09:24

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氧化层表面造成各种各样黑斑的关键缘故有下列几类，一种是硅片表面解决不干净，残余着一些拈污的残渣粒子，高溫下沾附在纳米二氧化硅层的表面，产生部分小黑点，江苏瀚方科技有限公司说这类难题只需用心解决硅片就能清除。

另一种是因为石英管长期性应用，处于高溫地区的石英管造成乳白色塑料薄膜，这类乳白色塑料薄膜的构造较为疏松，大气旋吹开或实际操作时振动就会导致粒子掉下去.落入硅片表面就会产生氧化层表面部分凸起。因此应提升对石英管的清理解决及适度拆换脆化的石英管是很必须的。

纳米二氧化硅

实际操作时一定坚决杜绝水珠喷到石英管中，特别是在在湿氧或水蒸气氧化时，当温度过高，发生爆发式烧开时，通常会将水滴立即喷到石英管中，如落入硅片上，就会发生五颜六色斑点。此外清理过的硅片上如残余水渍，也会在氧化影片上发生斑点。

如在二氧化硅表面存有黑斑时，黑斑处的氧化层对残渣的掩蔽功效很有可能无效，因而导致元器件特性下降，若有很大的突起黑斑时，还会继续导致光刻技术实际操作品质降低，危害全部芯管生产制造的良品率，因此稻壳二氧化硅生产设备厂家在生产制造中应尽量减少发生黑斑。

氧化层针孔的造成与氧化的方式相关，一般热氧化几乎不造成针孔。可是假如硅片的品质不太好，有比较严重的织构，而织构的地区又聚集较多的热扩散系数大的残渣，比如，铜、铁等，在这种地区就不可以非常好地生长发育出二氧化硅层，因此产生氧化层针孔，这种针孔一般人眼不容易发觉，有时候也称埋孔，蔓延时它能使残渣部分透过，掩蔽无效，进而导致元器件走电扩大，抗压减少，乃至离断，或是导致铝电级与二氧化硅层下的地区短路故障。为了更好地清除针孔，应挑选缺点少的光伏材料，而且表面光滑、整平。清理时要严苛实际操作，避免重金属超标残渣脏污硅片表面。

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